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南京邮电大学材料学院材料学院高真空磁控溅射镀膜机采购项目更正公告

发布日期:2020-08-31   浏览次数:

一、项目基本情况

原公告的采购项目编号:NYCG2020-H028

原公告的采购项目名称:南京邮电大学材料学院材料学院高真空磁控溅射镀膜机采购项目

首次公告日期:2020年08月21日

二、更正信息

更正事项:采购公告、采购文件    

更正内容:

(一)原采购公告中:投标文件接收信息:

投标文件开始接收时间:2020年9月10日上午9:00(北京时间)

投标文件接收截止时间:2020年9月10日上午9:30(北京时间)

现更正为:

投标文件开始接收时间:2020年9月16日上午9:20(北京时间)

投标文件接收截止时间:2020年9月16日上午9:50(北京时间)

(二)原采购文件中  第四章 项目需求  ★6、基片台及传动系统:基片台直径不小于300mm,转速可调控,磁流体密封,内置加热器,可加热至350℃,镀膜均匀性大于95%。

现更正为:“★6、基片台及传动系统:溅射的基片台直径不小于300mm,在真空室下面,溅射靶从真空室上面引入,转速可调控,磁流体密封,内置加热器,可加热至350℃,镀膜均匀性大于95%。”。

(三)原采购文件中  第四章 项目需求  4、配气系统:配置4路气体质量流量计加电磁截止阀,可同时控制最多4路反应气体进入真空室。

现更正为:“4、配气系统:配置4路气体质量流量计加电磁截止阀,可同时控制最多4路反应气体进入真空室,包括:氮气、氩气、氧气、甲烷,流量计流量范围可以保证正常溅射所需压力。

注:详见采购文件更正版。《南京邮电大学材料学院材料学院高真空磁控溅射镀膜机采购项目(更正后定稿)》

更正日期:2020年08月31日

三、其他补充事宜

四、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。

名    称:南京邮电大学

地    址:南京市亚东新城区文苑路9号

联系方式:瞿老师 025-85866540

 

 

南京邮电大学采购招标管理办公室

2020年8月31日

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